018: Фізико-математичні науки

Permanent URI for this collection

https://ekmair.ukma.edu.ua/handle/123456789/8866

Browse

Browsing 018: Фізико-математичні науки by Subject "еліпсометричні дослідження"

Now showing 1 - 1 of 1
  • Thumbnail Image
    Item
    Еліпсометричні дослідження модифікації поверхні дзеркал з нержавіючої сталі при опромі­ненні іонами D+ та Аr+
    (2000) Поперенко, Л.; Стащук, В.; Вінніченко, М.; Бардамід, О.; Мелещук, О.; Войценя, В.
    Досліджено дзеркала із полікристалічноїнержавію чої сталі, опромінені пучками моноенергетичних іонів И + та Аг * з енергіями, які не перевищували 1,5 кеВ. З метою опису модифікації поверхні дзеркал при іонному опроміненні застосовували еліпсометрію при багатьох кутах падіння світла (довжин хвилі X = 632,8нм), спектральну еліпсометрію (енергія зондуючих фотонів Иу - 0,49—5,00 еВ) та скануючу електронну мікроскопію. Дослідження спектрів оптичних характеристик для нержавіючої сталі показало, що опромінення іонами Аг+ зумовлює більше зменшення оптичної провідності у всьому спектральному інтервалі, ніж опромінення іонами И+ такої ж енергії, та при близьких зна ченнях товщини розпиленого шару. В обох випадках спостерігається суттєве розширення відповідних смуг поглинання. За даними скануючої електронної мікроскопії мікрорельєф поверхні у випадках обробки різними іонами відрізняється, проте моделювання оптичних властивостей у наближенні ефективного середовища продемонструвало, що зміни оптичних властивостей дзеркал не можуть бути пояснені тільки зміною шорсткості поверхні й формування дефектів у приповерхневому прошарку також має бути враховано.