Модифікація монокристалічного GaAs у кріогенному середовищі шляхом УЗ кавітації
Loading...
Date
2021
Authors
Лембік, Ярослав
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
Метою цієї роботи було показати, на прикладі GaAs, що обробка напівпровідникових кристалів ультразвуком має потужний технологічний потенціал.
Description
Keywords
УЗ кавітація, електрокінетичні явища, електричний струм, локальні теплові ефекти, напівпровідникові кристали, бакалаврська робота