Неруйнівна фотолюмінесцентна діагностика імплантованого кремнію
Loading...
Date
1999
Authors
Рудько, Г.
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Abstract
The described photoluminescent methods of characterization give information about type and concentration of implanted ligants, in-site or interstitial position of the implanted ions in the lattice, and provide the control of the formation and destruction of radiation defects. Some new results obtained due to these methods application are reviwed.
Description
Keywords
фотолюмінесцентна діагностика, імплантований кремній, легуючі домішки, радіаційний дефект
Citation
Рудько Г. Ю. Неруйнівна фотолюмінесцентна діагностика імплантованого кремнію / Г. Ю. Рудько // Наукові записки НаУКМА. 1999. Т. 9 (2) : Спеціальний випуск. С.289-298.