Неруйнівна фотолюмінесцентна діагностика імплантованого кремнію
dc.contributor.author | Рудько, Г. | |
dc.date.accessioned | 2016-12-22T18:18:39Z | |
dc.date.available | 2016-12-22T18:18:39Z | |
dc.date.issued | 1999 | |
dc.description.abstract | The described photoluminescent methods of characterization give information about type and concentration of implanted ligants, in-site or interstitial position of the implanted ions in the lattice, and provide the control of the formation and destruction of radiation defects. Some new results obtained due to these methods application are reviwed. | en |
dc.identifier.citation | Рудько Г. Ю. Неруйнівна фотолюмінесцентна діагностика імплантованого кремнію / Г. Ю. Рудько // Наукові записки НаУКМА. 1999. Т. 9 (2) : Спеціальний випуск. С.289-298. | uk |
dc.identifier.uri | https://ekmair.ukma.edu.ua/handle/123456789/10332 | |
dc.language.iso | uk | uk |
dc.relation.source | Наукові записки НаУКМА: Спеціальний випуск | uk |
dc.status | published earlier | uk |
dc.subject | фотолюмінесцентна діагностика | uk |
dc.subject | імплантований кремній | uk |
dc.subject | легуючі домішки | uk |
dc.subject | радіаційний дефект | uk |
dc.title | Неруйнівна фотолюмінесцентна діагностика імплантованого кремнію | uk |
dc.title.alternative | Nondestructive photoluminescence diagnostics of the implanted silicon | uk |
dc.type | Article | uk |
Files
Original bundle
1 - 1 of 1
Loading...
- Name:
- Rudko_Neruynivna_fotolyuminestsentna.pdf
- Size:
- 237.44 KB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
License bundle
1 - 1 of 1
No Thumbnail Available
- Name:
- license.txt
- Size:
- 7.54 KB
- Format:
- Item-specific license agreed upon to submission
- Description: